Fabricant isolation technique

Then a layer of silicon nitride is deposited which is used as an oxide barrier. The pressure, is tensile for the convex structure in (a) and compressive for the concave structure in (b). (a) Convex (b) Concave There is a normal stress for both convex and concave surfaces in the bulk of the oxide. At first a very thin silicon oxide layer is grown on the wafer, the so-called pad oxide. Loc al O xidation o f S ilicon ( LOCOS ) is the traditional isolation technique.

This isolation technique takes advantage of the fact that any two flat, smooth, clean, and hydrophilic surfaces can be bonded at ambient temperature without the use of external forces.

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